சுருக்கமான விளக்கம்:
411WPD 3-இன்-1 SF6 வாயு பகுப்பாய்வி என்பது SF6 ஈரப்பதம் (பனிநிலை) சோதனை, SF6 தூய்மை சோதனை மற்றும் SF6 வாயு சிதைவு பொருள் சோதனை ஆகியவற்றின் கலவையாகும். இது மூன்று கருவிகளால் மட்டுமே அடையக்கூடிய செயல்பாடுகளை ஒரே கருவியில் ஒருங்கிணைக்கிறது. ஒரே முறை தளத்தில் அளவீடு செய்வதன் மூலம் அனைத்து குறிகாட்டிகளின் கண்டறிதலை முடிக்க முடியும், இது உபகரணங்களில் உள்ள வாயுவை பெரிதும் மிச்சப்படுத்துகிறது, அதே நேரத்தில் பயனர்களின் பணிச்சுமையை குறைத்து வேலை திறனை மேம்படுத்துகிறது.
• மின்சக்தி SF6 வாயு மின் உபகரணங்களின் ஈரப்பதம், தூய்மை மற்றும் சிதைவு பொருட்களின் பகுப்பாய்வு
• SF6 எரிவாயு சிலிண்டர் வாயு தர சோதனை
• மீட்பு மற்றும் மறுபயன்பாட்டிற்கான SF6 வாயுவின் தர சோதனை
•உயர் தூய்மை வாயு உற்பத்தி
• செமிகண்டக்டர் தொழிற்துறை உலர் வாயு விநியோகம்
•ஆராய்ச்சி மற்றும் மேம்பாட்டு பயன்பாடு
• சுத்தமான அறை/உலர் வீடு கண்காணிப்பு
• உலோக வெப்ப சிகிச்சை தளம் மற்றும் ஆய்வக தொழில்துறை வாயு ஈரப்பதம் கண்டறிதல், அதாவது காற்று, CO2, N2, H2, O2, SF6, He, Ar மற்றும் பிற மந்த வாயுக்கள்.
• சுய அளவுத்திருத்த செயல்பாட்டுடன், ஈரப்பதம், தூய்மை மற்றும் சிதைவு கண்டறிதல் தரவுகளின் நிலைத்தன்மை மற்றும் நம்பகத்தன்மையை ஆண்டு முழுவதும் உறுதி செய்கிறது.
• அனைத்து வாயு பாதையும் உயர் பாலிமர் பொருள் வடிவமைப்புடன் உள்ளது, இது தண்ணீர் சுவரில் ஒட்டிக்கொள்ளும் நிகழ்வு இல்லை என்பதை உறுதி செய்கிறது மற்றும் சோதனை வேகத்தை உத்தரவாதம் செய்கிறது.
• அளவிடப்பட்ட மதிப்பின் துல்லியத்தை உறுதிப்படுத்த எண்ணெய் இல்லாத துருப்பிடிக்காத எஃகு உடல் ஒழுங்குபடுத்தும் வால்வு பயன்படுத்தப்படுகிறது.
•மேம்பட்ட மென்பொருள் வழிமுறைகள் சென்சார்களின் சோதனை துல்லியத்தை மேம்படுத்துகின்றன.
• ஒருங்கிணைந்த சேஸிஸ் உள்ளமைவு தீர்வு, பயனர்கள் தொடர்புடைய கருவிகள் மற்றும் துணைக்கருவிகளை எளிதாக இணைக்க முடியும். ஒட்டுமொத்த தொகுப்பு எடுத்துச் செல்லப்படுகிறது, இது பயனருக்கு மிகவும் நிதானமான அனுபவத்தை அளிக்கிறது.
•தொடக்க சோதனை, முன்கூட்டியே சூடாக்கவோ அல்லது அலைவுறச் செய்யவோ தேவையில்லை.
•வெப்பநிலை மாற்றம் மற்றும் அழுத்த தரவு திருத்தம்.
•தெளிவற்ற கணினி தொழில்நுட்பம்.
• உயர்-சக்தி லித்தியம் பேட்டரி சக்தி, AC மற்றும் DC இரட்டை மின்சார விநியோகத்தை செயல்படுத்துகிறது. தளத்தில் AC மின்சாரம் தேவையில்லை. லித்தியம் பேட்டரி மின்சாரம் வெளிப்புற மின்சார விநியோகம் தேவையின்றி 8 மணி நேரத்திற்கும் மேலாக தொடர்ந்து செயல்படுகிறது.
•மின்காந்த குறுக்கீடு எதிர்ப்பு சுற்று வடிவமைப்பு தயாரிப்பு நம்பகத்தன்மையை உறுதி செய்கிறது.
• பெரிய கொள்ளளவு நினைவகம், இது 1000 தொகுப்பு தரவு சேமிப்பு செயல்பாடுகளை உணர முடியும்.
• சோதனை தரவு நிலையானது, மேலும் நிலையான பனிநிலை மதிப்புகள் மற்றும் 20℃ இல் மாற்றப்பட்ட பனிநிலை மதிப்புகள் இரண்டையும் வழங்க முடியும்.
• தூய்மை அளவீட்டு துல்லியம் முழு வரம்பில் 0.5% ஆகும். இது அதிக செறிவு SF6 வாயு மற்றும் 70% உள்ளடக்கம் கொண்ட SF6 வாயுவின் அளவீட்டிற்கு பயன்படுத்தப்படலாம்.
• சிறந்த சோதனை ஓட்டப் பகுதி, பயனர் வாயு ஓட்டத்தை உள்ளுணர்வாகவும் விரைவாகவும் சரிசெய்ய முடியும் என்பதைக் காட்டுகிறது. சோதனை நேரத்தைக் குறைக்கிறது.
•காற்று நுழைவாயில் ஒரு நுண்ணிய சுய-சீல் இணைப்புடன் வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது, மேலும் காற்றுப்பாதை துண்டிக்கப்படும்போது சோதிக்கப்பட வேண்டிய காற்றுப்பாதை கசியாது.
•உள் பம்ப் மூலம், SF6 வாயுவை சேமிப்பு சிலிண்டருக்கு மீண்டும் செலுத்துகிறது.
• அளவீட்டு முறை: எதிர்ப்பு மற்றும் கொள்ளளவு அளவீட்டு கொள்கை
• அளவீட்டு வரம்பு: பனிநிலை -80℃--+20℃ (ppmv ஆதரவு)
• துல்லியம்: ±2℃
(பனிநிலை வெப்பநிலை 0 ℃ க்கு கீழே இருக்கும்போது, சென்சார் வெளியீடு உறைபனி புள்ளியாகும்)
• பதிலளிப்பு நேரம்: 63% [90%]
+20→-20℃ Td 5s[45s]
-20→-60℃ Td 10வி[240வி]
•தீர்மானம்: 0.01℃
• மீண்டும் நிகழும் தன்மை: ± 0.5 ℃
• காட்சி அலகு: ℃, ppm, ℃P20(20℃ இல் மாற்றப்பட்ட மதிப்பு)
• வாயு ஓட்டம்: 400-600மிலி/நிமிடம்
•ஓட்ட காட்சி: 0-1000mL டிஜிட்டல் ஓட்ட மானி
• மாதிரி வாயு அழுத்தம்: ≤1MPa
SF6 தூய்மை
• அளவீட்டு முறை: அகச்சிவப்பு அளவீட்டு கொள்கை (NDIR தொடர் சென்சார்கள்)
•அளவீட்டு வரம்பு: 0 ~ 100% SF6
• பதில் நேரம்: [90%] 60வி
•துல்லியம்: ± 0.5%FS
• மீண்டும் நிகழும் தன்மை: ± 0.5%
•தீர்மானம்: 0.01%
• காட்சி அலகு: %
• வாயு ஓட்டம்: 300-450mL/min
SF6 சிதைவு பொருட்கள்
• அளவீட்டு முறை: மின்வேதியியல் அளவீட்டுக் கொள்கை (மின்வேதியியல் தொடர் சென்சார்கள்)
•அளவீட்டு வரம்பு: H2S: 1 ~ 200ppmvSO2: 1~ 100ppmv
• துல்லியம்: H2S: 10ppmv ±3% SO2: 10ppmv ±3%
• மீண்டும் நிகழ்தகவு: H2S: 10ppmv ±2% SO2: 10ppmv ±2%
• உணர்திறன்: 0.5ppmv
• காட்சி அலகு: ppmv
• வாயு ஓட்டம்: 250-300mL/min
•பம்ப் பேக் செயல்பாடு: மறுசுழற்சி அறை 2L, மறுசுழற்சி நேரம் ≤ 5 நிமிடம், வாயு உலர்த்தும் செயல்பாட்டுடன் (விருப்பத்திற்கு)
• ஆக்ஸிஜன் அழுத்தம்: ≤1Mpa
• ஆய்வு பாதுகாப்பு: துருப்பிடிக்காத எஃகு சின்டர்டு வடிகட்டி
• மின்சாரம்: 110-220VAC, 50Hz, AC/DC பயன்பாடு, அதிக மின்னூட்ட பாதுகாப்பு, தொடர்ச்சியான வேலை 8 மணிநேரத்திற்கு குறையாது.
• பயன்பாட்டு சூழல் வெப்பநிலை: -20--+60℃
• சூழல் ஈரப்பதம்: 90%RH
• அளவீட்டு மதிப்பின் தாக்கம்: அழுத்தம் மற்றும் ஓட்டத்தின் எந்த விளைவும் இல்லை
• பரிமாணம்: 570*420*280மிமீ
•எடை: சுமார் 14 கிலோ.